光刻機測試解決方案

     光刻機是制造芯片的核心裝備，世界上只有少數廠家掌握了尖端光刻機的曝光系統和光刻技術，核心芯片制造技術牢牢把握在了資本廠商手中，把控了多條科技命脈。提高光刻機研發技術水平，是發展中國集成電路產業的核心要務。

     光刻機追求高分辨率和高精度對準，要求在μm距離范圍內，進行多層曝光，并且層間圖案定位精準。所以，要為如此精細工作的光刻機提供測試服務，測試電源也必須擁有高壓、高頻、高精度、高速響應速度等強度耐力。

     航裕電源，致力于服務國家戰略，十年來服務于各大軍工院所和高校，為國家國防軍工、航空航天等高科技研發測試提供高品質測試電源。此次，航裕電源為滿足國家光刻機研發測試需求，再次突破技術難關，電源上升時間最快達到100μs以內，輸出電壓最大50kV，輸出電流單機最大10000A，可并聯至50000A，高功率密度達單機最大5kW/2U，可串聯、并聯，組裝于集成柜，獲得更大功率。

     長春國科精密光學技術有限公司前身為中國科學院長春光學精密機械與物理研究所超精密光學工程研究中心。致力于極大規模集成電路光刻投影光學、顯微光學、多光譜融合成像探測、超精密光機制造等領域的高技術研究，同時開展相應高端光學儀器與裝備產品的研發工作。去年，長春國科購置了航裕電源HY-PMC系列可編程12通道直流電源，用于繼續推動光刻機等科研發展。

HY-PMC 可編程多通道直流電源    

產品特點

■ 高精度

■ 高分辨率：1mV/ 1mA

■ 線性放大技術，超低紋波噪聲

■ 兩通道以上輸出，最多可達120通道

■ 80種電壓/電流組合，可供用戶自由選擇

■ 恒壓CV/恒流CC，CV/CC優先可設

■ 支持前面板編程，無須上位機軟件控制

■ 上升和下降斜率可調（電壓/電流）

■ 電源輸出軟啟動功能，應對感性負載

■ 16 bits D/A 高精度轉換器，輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉換器，回讀更準

■ 多重保護功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸標準機架尺寸

■ 4 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數字按鍵輸入

■ 多級飛梭調節旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ，更加安全（3U）

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 標配遠端測量端子，補償輸出線壓降

■ 風機智能調速設計，減少噪音

■ 前面/側面進風 ，后部出風，節省散熱空間

■ 支持 Modbus 和 SCPI 協議

■ 標配接口：RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 選購接口：LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監測（隔離型）

8通道產品外觀

HY-HV 可編程高壓直流電源    

產品特點

■ 輸出電壓最大50kV

■ 高功率密度：單機最大100kW

■ 支持前面板編程，無須上位機軟件控制

■ 電壓上升和下降斜率可調

■ 電源輸出軟啟動功能

■ 16 bits D/A 高精度轉換器，輸出精確

■ 16 bits A/D 高精度轉換器，回讀更準

■ 多重保護功能 過溫、開路保護 

■ 19 英寸標準機架尺寸

■ 7 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數字按鍵輸入

■ 多級飛梭調節旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ，更加安全

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 風機智能調速設計，減少噪音

■ 前面/側面進風 ，后部出風，節省散熱空間

■ 支持 Modbus 協議

■ 標配接口：RS-485&RS-232

■ 選購接口：LAN&CAN USB GPIB 模擬量編程和監測（隔離型）

HY-PM 可編程多功能直流電源    

產品特點

■ 2U機型輸出額定電流510A，最大電流550A

■ 高功率密度：單機最大 5kW / 2U

■ 工作模式：恒壓 CV、恒流 CC，CV / CC 優先可設

■ 輸入標配 PFC，功率因素高達 0.99（5 kW / 2U）

■ 支持前面板編程，無須上位機軟件控制

■ 上升和下降斜率可調（電壓/電流）

■ 電源輸出軟啟動功能，應對感性負載

■ 16 bits D/A 高精度轉換器，輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉換器，回讀更準

■ 多重保護功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸標準機架尺寸

■ 4 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數字按鍵輸入

■ 多級飛梭調節旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ，更加安全（3U）

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 標配遠端測量端子，補償輸出線壓降

■ 風機智能調速設計，減少噪音

■ 前面/側面進風 ，后部出風，節省散熱空間

■ 支持 Modbus 和 SCPI 協議

■ 標配接口：RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 選購接口：LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監測（隔離型）

■ 可串聯、并聯，組裝于集成柜

HY-PM系列多功能直流電源上升時間實測：8.446ms

HY-HS系列高速直流電源上升時間實測：161.9μs

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上海航裕電源科技有限公司是一家專業研發生產各種軍用、航天、航空、實驗室專用，精密交直流電源的高科技型公司.多年來公司始終堅持科技以人為本，全面實施產品質量與品牌戰略，將科技轉化為現實的生產力。公司全面推行“用戶滿意工程”，專門成立了一支技術過硬的售后服務隊伍，完善的售后服務體系和專業的售后服務隊伍為您解決后顧之憂！

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